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廣州粵芯半導體技術股份有限公司

工業領域案例
訪問次數:

案例詳情

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       項目地址:

      廣東省廣州市黃埔區鳳凰五路28號

  項目概況:

      5 號建筑(生產廠房 1)二層、三層、四層潔凈區,四層 MAU機房,一層潔凈與非潔凈實驗室;4 號建筑(生產調度廠房)一層實驗室區域、四層潔凈更衣室區域、五層工藝連廊區域;4A 連廊;5A 連廊,涉及光刻區、濕法蝕刻、刻蝕區、離子注入區等多道工藝,控制精度溫度±1℃,濕度3%

  效益價值:

  1)建立廠務智控系統管理平臺FMCS,實時顯示系統動態參數、運行狀態和故障情況

  2)打破數據孤島,整合眾多設備數據,實現數據互聯互通,針對重要數據的趨勢記錄,提高設備的運行穩定性  

       3)廠務FMCS集成系統,提升了企業綜合管理能力,節約系統運行能耗,具有較好的社會效益和經濟效益  

       4)智能型、節約型企業形象更優,進一步提升企業知名度和影響力 


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